热扫描探针光刻:半导体小型化的继续之路

2019年4月 | SMC116A | BCC出版
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报告强调

大规模并行原子探针阵列的想法已经存在了几十年,但是探针的速度、耐用性和最终结果能否商业化?

如果是这样,与电子束方法相比的优势,特别是在半导体制造方面,可能值得努力——环境气氛与真空气氛相比,2D晶体管质量的改善改善了金属和2D衬底交汇处的电子流动,很容易对2D半导体成像,然后在需要的地方对电极进行图形化,更低的运营成本,更低的能耗,等等。

报告包括

  • 热扫描探针光刻技术(tSPL)作为半导体小型化手段的技术亮点和市场展望
  • 深入了解tSPL工艺在电子和光电子等不同行业的作用;化学、生物化学和保健;传感器和执行器;能源;以及在透明基底上制作三维结构等。
  • 利用沉积技术制作超薄薄膜电子特性的光刻工艺综述
  • 对tSPL在工业层面的当前趋势、技术现状、优缺点和新兴应用的评估

分析师凭证

Margareth Gagliardi, BCC Research高级材料首席研究分析师,在先进材料领域拥有超过30年的经验,专长于陶瓷配方乐动体育-西甲2019赞助商、材料加工和新产品开发。在获得化学和陶瓷工程学位后,她在美国和欧洲生产电子、机械、化学和结构部件的公司担任制造和研发高级管理职位。

她目前专注于市场情报和先进技术分析的组织和研究机构,在一系列高科技行业。

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